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激光干涉儀在數(shù)控機(jī)床調(diào)試驗收中的應(yīng)用
點擊次數(shù)：1329 更新時間：2022-09-22 返回
新機(jī)床到廠安裝后，因運輸過程中的顛簸及環(huán)境溫度差異等原因，會造成機(jī)床位置精度變化，產(chǎn)生新的定位誤差。因此新機(jī)床經(jīng)安裝調(diào)試后須使用激光干涉儀對其位置精度進(jìn)行檢測評定，必要時進(jìn)行螺距誤差補償，以修正誤差值，達(dá)到機(jī)床驗收標(biāo)準(zhǔn)，保證機(jī)床加工精度要求。
干涉儀所用激光的波長為633nm，且其長期波長穩(wěn)定性（在真空中）高于0.05ppm，是可對數(shù)控備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的儀器。
以新進(jìn)設(shè)備數(shù)控緩磨為例，其控制系統(tǒng)為SIEMENS840DSL，被測軸以X軸為例，檢測目的是驗收檢測，檢測項目為位置精度檢測。
1、機(jī)床開機(jī)回零后，運行熱機(jī)程序預(yù)熱15min。
2、將激光干涉儀按布置連線圖進(jìn)行安裝連接，開啟XL-80激光電源，預(yù)熱約5min。
3、使用光靶快速準(zhǔn)直光束。沿運動軸方向?qū)⒐ぷ髋_推離激光頭，直到光束開始移開光靶。當(dāng)只有一半的光束擊中白點時停止移動機(jī)床。
4、編制測量運行程序。設(shè)置機(jī)床工件坐標(biāo)系G59：X0Y0Z0，使之與機(jī)床機(jī)械坐標(biāo)系一致；依據(jù)機(jī)床X軸實際測量參數(shù)。
5、設(shè)置激光干涉儀線性測長軟件。進(jìn)入測量向?qū)?，依次完成目?biāo)設(shè)定、采集數(shù)據(jù)啟動、標(biāo)題信息、自動采集數(shù)據(jù)設(shè)定4個窗口的設(shè)置。其中在自動采集數(shù)據(jù)設(shè)定中的公差窗口及越程量大小設(shè)置，依據(jù)以往經(jīng)驗，設(shè)定為機(jī)床實際越程的1/2，即公差窗口：0.5mm，越程量大小：0.5mm。如兩參數(shù)大于等于實際越程值，可能造成軟件采集錯誤數(shù)據(jù)或無法采集。
完成上述設(shè)置后，進(jìn)入測量界面，先試運行機(jī)床，判斷數(shù)據(jù)方向，由于起點不為零，需先使用將數(shù)據(jù)手動定義到起點100，啟動機(jī)床檢測程序，進(jìn)行自動采集數(shù)據(jù)。
