激光干涉儀介紹:
1D激光主要可以測量定位誤差
??3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)
??5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
技術(shù)參數(shù):
??5D/6D標準型:
??1. 線性:0.5ppm .
??2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
??3. 線性分辨力:0.001um.
??4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
??5. 大范圍:800角秒
??6. 滾動角精度:1.0角秒
??7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
??8. 直線度*大范圍:500um
??9. 垂直度精度:1角秒
??10. 溫度精度:0.2攝氏度
??11.濕度精度:5%
??12.壓力精度:1mmHg
主要特點:
??1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
??2. 設(shè)計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
??3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米
??4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機床動態(tài)特性。
??5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
??6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間
XD Laser被用于:
CMMICNC的校準、補償
機床導(dǎo)軌平行度的測量
旋轉(zhuǎn)軸的測量
垂直度的測量
對角線的測量
CNC反饋
機器人位置反饋